單晶生長爐是一種用于生長單晶材料的設備,以下將從其工作原理、結構組成、應用領域等維度展開詳細介紹: 1.工作原理 直拉法:把多晶材料放入石英坩堝內,用石墨加熱器加熱使其熔化。將籽晶固定在籽晶軸上,插入熔體表面,待籽晶與熔體熔合后,慢慢向上拉籽晶,同時控制籽晶的旋轉速度,晶體便會在籽晶下端生長。通過控制拉速、溫度、坩堝轉速等參數,實現晶體的生長,如單晶硅的生長大多采用直拉法。
超高溫燒結爐是一種能在較高溫度環境下對材料進行燒結處理的設備,以下是其詳細介紹: 1.工作原理 電阻加熱:利用電流通過導體(如石墨發熱體)產生熱量,遵循焦耳定律,即熱量與電流的平方、導體電阻和通電時間成正比。如在一些采用石墨發熱體的超高溫燒結爐中,通過大電流使石墨發熱,產生 2000℃以上的高溫。